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6.152J / 3.155J 微电子学处理技术, 2003 秋季

A device pad structure, shown with a penny for scale.
一个pad器件结构图,按比例显示出来。 (本图像 低成本电子封装研究的Georgia Tech Center研究出的; 由Stanley F. Leary拍照.本图像由 National Science Foundation Image Library提供。)

课程特点

本门课的材料主要用详细的 课程幻灯片,结合同学使用的其它资料。

课程简介

当前课程介绍了微/纳制造的原理和工艺.理论课程和实验课程部分集中在基本的工艺技术,比如扩散,氧化,光刻,化学气相沉积等等.通过小组的实验,希望同学们能够了解这些工艺技术,以及怎样将它们应用于器件制造.学习这门课程的同学有唯一的机会采用现代工艺和技术制作和测试微/纳米器件。
师资
授课教师:
Martin Schmidt教授
Robert O'Handley博士
Susan Ruff
课程安排
讲座:
2 节/星期
1.5 小时/节
课程级别
本科生
翻译
龚敏 博士 教授 博导 微电子

四川大学物理科学与技术学院
审校
伍登学 硕士 副教授 微电子
石瑞英 博士 副教授 微电子

四川大学物理科学与技术学院
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